等離子表面清洗機經常會應用諸多不同的氣體，如通常會應用氧氣、氫氣、氮和壓縮空氣等，洛陽氣體也可能根據(jù)工藝要求使用氬氣。那么為啥要使用這種氣體，以及它在等離子清洗機設備中的作用是什么？

氬氣是一種惰性氣體，經過電離之后的等離子體不會與基體發(fā)生化學反應。在等離子體清洗中，氬氣主要是利用于與基體表面的物理清洗及表面粗化。所以氬氣等離子清洗機被廣泛應用于半導體行業(yè)、微電子行業(yè)及晶圓制造行業(yè)等。

一、表面清潔

在晶圓、玻璃等產品表面顆粒的清除過程中，通常會采用等離子體對材料表面的顆粒進行轟擊，加以實現(xiàn)對顆粒的分散和松動處理，然后再進行離心清洗等處理工藝，會有著顯著的效果。在半導體封裝應用中尤為突出，在經過打線工藝后為防止導線氧化，需采用氬等離子體或氬氫等離子對產品表面進行等離子清洗，實現(xiàn)更好的產品處理效果。

二、表面粗化

等離子清洗機的表面粗化處理也稱為表面刻蝕處理，其主要目的是提升材料的表面粗糙度，進而增強材料的粘接、印刷和焊接等性能。其他活性氣體經處理后也可提升產品表面張力，但氬離子化產生的顆粒要更重，在電場的作用下氬離子的動能較高于其他活性氣體，所以其粗化效果更號。氬氣在無機物表面粗化的過程中應用較為廣泛，如玻璃基材的表面處理、金屬基材的表面處理等。

三、氬氣

在等離子清洗機的表面活化及清洗中，混合氣體相對來說能夠取得更好的處理效果，較常見的是氬和氧的混合物。且由于氬的分子量大，電離后產生的顆粒比較重，在電場的作用下氬離子的動能高于其他活性氣體，其效果更顯著。